표면처리

실리콘 에칭(Silicon Etching)

2026-05-08T14:33:11+09:00

1. 실리콘 에칭(Silicon Etching)

실리콘(Si) 소재의 표면을 화학적 또는 물리적으로 제거하여 원하는 패턴이나 구조를 만드는 공정입니다.

반도체, MEMS, 태양전지, 디스플레이, 센서 제조에서 핵심 공정으로 사용됩니다.

2. 에칭 목적

- 회로 패턴 형성

- 미세 구조 가공

- 홀(Hole) 및 트렌치(Trench) 형성

- 전극 분리

- 표면 거칠기 조절

- MEMS 구조 제작

3. 실리콘 에칭(Silicon Etching) 방식

1) 습식 에칭 (Wet Etching) - 화학 용액으로 실리콘을 녹이는 방식입니다.

- KOH (수산화칼륨)

- TMAH

- HF + HNO₃

- EDP

2) 건식 에칭 (Dry Etching) - 플라즈마나 이온을 이용해 실리콘을 제거합니다.

- Plasma Etching

- RIE (Reactive Ion Etching)

- DRIE

- ICP Etching

백그라인딩 공정 (back grinding process)

2021-01-13T22:31:32+09:00

◉ 백그라인딩이란 Si Wafer의 뒷면을 원하는 Target 두께를 맞추기 위하여 갈아내는 공정 입니다.

Si Wafer를 고정하는데 백그라인딩용 접착 테이프가 적용됩니다.

소재를 UV 접착 테이프와 라미를 하여 장비에 고정 합니다.

◉ Chuck Table과 Grinding Wheel이 함께 회전하며, Grinding Wheel은 위에서 아래로

내려와 Wafer Back면을 연삭을 합니다.

◉ UV 조사후 Si Wafer와 접착 테이프는 분리 됩니다.

백그라인드용 접착 테이프 제품보기

플라즈마(Plasma)란?

2019-12-13T15:33:31+09:00

플라즈마라는 말을 물리학 용어로 처음 사용한 사람은 미국의 물리학자 'Langmuir'(랑뮈어)로서 전기적인 방전으로

인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단을 플라즈마라고 한다.

어떤 물질에 열을 가하면 고체-액체-기체로 상전이를 일으켜 물질의 상태가 변화 한다는 것은 잘 알려져 있다.

이들 기본적인 세 가지 물질상태를 물질의 3태라한다.

가열되는 온도를 더욱 증가시켜 수천도 이상이 되면 물질은 어떻게 될까?

물질은 기체 상태를 지나 그 속의 기체 분자들끼리 격렬하게 충돌하여 이온화가 일어나서 다수의 양이온과 전자가

발생하고 움직여 다니는 상태에 이르게 된다.

촛불의 불꽃 속의 일부라던가 로켓추진 불꽃, 번개, 형광등, 네온사인, 태양에서는 이와 같은 플라즈만 물질상태가

유지되 고 있다.

기체분자나 원자가 이온화 될 때 양이온과 전자는 쌍으로 발생하므로 플라즈마 안의 양이온의 수와 전자의 수는

거의 같아서 전체적으로 전기적인 준 중성(quasi-neutral)상태를 유지한다고 할 수 있다.

플라즈마는 이온과 전자의 밀도가 거의 같게 이온화된 상태 의 기체라고 정의 할 수 있다.

용도 :

플라즈마 식각 및 증착 (Plasma Etch) (PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 금속이나 고분자의 표면처리 신물질의 합성

표면처리 기술요약

2018-02-18T23:35:21+09:00

자료를 찾다가 초보적인 것이 있길래..

아템카페 자료보기

http://cafe.naver.com/adhesive/193220

은의 미생물 불활성화 특성 및 기작

2018-01-28T10:19:20+09:00

최근 많은 종류의 세균 및 바이러스에 의한 피해가 우리 생활 주변 에서 빈번하게 발생, 보고되고 있다. 영국 회사 레킷벤키저사가 설립 한 기구인 ‘위생위원회(Hygiene Council)’가 미국 가정 32곳을 대상으 로 조사한 결과에 따르면 단위면적 당(1 inch × 1 inch) 화장실 변기, 싱크대 개수구, 부엌 수세미, 행주 등의 순으로 세균이 많이 서식하고 있는 것으로 나타났다.

구토와 설사를 유발하는 포도상구균, 살모넬라 균이 거의 모든 가정에서 검출되었으며 식중독을 유발하는 비브리오 균도 다수의 가정에서 검출되었다고 한다. 따라서 이러한 각종 질병 의 원인이 되는 병원균에 의한 피해를 감소시키기 위한 강력한 항균, 소독 물질에 대한 요구, 특히 그 중에서도 인체와 환경에 무해한 항균, 소독 물질에 대한 수요 및 개발이 증가하고 있다. 지금까지 염소계 물질, 유기계 물질, 무기계 물질 등 수많은 항균 물질이 개발, 이를 응용한 항균 제품들이 출시되어 왔으나 최근에는 이 중에서도 650여 종의 다양한 세균에 대해 미생물 불활성화 효과가 뛰어난 것으로 알려져 있고 인체에 무해하여 예부터 식기나 수저 등 의 생활용품에도 사용되어 온 은(Ag)의 사용이 급증하고 있는 추세이 다. 은의 뛰어난 미생물 불활성화 성능은 1869년 Ravelin이라는 연구자에 의해 처음으로 보고되었다[1].

그 이후 매우 많은 연구자들이 은 의 미생물 불활성화 성능에 대한 연구를 진행하였으며 다른 항생제, 소독제에 비해서 내성을 가지는 미생물의 수가 적어서 은을 이용한 병원 치료 방법이 개발되기도 하였다. 그 외에도 은-제올라이트, 은 이 온 혹은 은나노 입자(Ag0 )가 치환된 섬유 등 다양한 은을 이용한 항균 물질이 개발, 사용되었고 국내에서는 은나노의 항균 성능을 앞세운 세탁기, 양말 제품이 소비자들로부터 큰 호응을 얻기도 하였다.

그러 나 정확하지 않은 항균 성능의 평가 결과 및 과장된 광고, 은의 미생 물 불활성화 성능과 기작에 대한 전반적인 이해 부족은 소비자들에게 불필요한 혼동을 야기시키고 은을 이용한 제품 개발 및 연구에 많은 제약을 가져오고 있다. 실제로, 최근 은 이온과 은나노 명칭이 구분없 이 혼용되고 은 이온의 항균 성능을 응용한 제품이 은나노 함유 제품 으로 과장 광고되는 등의 사례가 보고되고 있다. 따라서 일반 소비자 들이 다양한 종류의 은 함유 항균 제품을 쉽게 주변에서 접할 수 있는 상황에서 은의 항균 물질로의 적합성을 평가하고 보다 더 효율적인 제품에 대한 연구 및 개발을 위하여 은의 정확한 항균 특성 및 기작에 대한 이해가 절실히 요구되고 있다. 본 글에서는 은의 종류를 크게 2가지로 분류하여 이온 형태의 은 (Ag+ )과 은나노 입자(Ag0 )의 미생물 불활성화 성능 및 기작에 대해서 소개하고자 한다.

또한 다른 항균, 소독 물질과의 시너지 효과에 대해 서 알아보고 두 물질을 이용한 응용 제품에는 어떠한 것이 있는지 살

자료:

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은나노를 부착한 활성탄 필터의 제균특성

2018-01-28T10:17:32+09:00

최근 실내 공기질 문제에 대한 인식이 증대되어 각국의 공기질 관리 및 규제 정책이 심화되고 있다. 특히 공조기의 필터와 열교환기 등의 습표면에 서 발생되는 세균증식이 원인이 되어 실내로 각종 유해세균들이 유입되고, 이는 탄저병, 알레르기, 결핵 등 각종 질환의 원인이 된다.

(1) 또한 악취를 발생시키는 등 청결한 환경을 위협하는 요소가 되기 때문에 항균 및 탈취를 위한 소재개발의 필 요성이 제기되고 있다. 이를 위해 활성탄(activated carbon)을 이용한 공조필터가 사용되어 왔다. 활성탄은 각종 유기물 이나 무기물로 이루어진 오염원 뿐만 아니라 세균 및 미생물로 오염된 기체나 액체 등이 활성탄소 층을 통과할 때 오염물질들이 각 활성탄소의 표 면에 흡착하게 되는데 이러한 흡착현상에 대한 흡착력의 세기는 활성탄소의 표면적, 입자크기 그 리고 표면에너지 등에 의해서 결정된다고 보고되 고 있다.

(2, 3) 하지만 활성탄에 의해 일반세균의 살 균(disinfection) 또는 불능화(inactivation) 효과를 얻기 어렵다. 또한 활성탄 표면에 세균이 부착하 게 되면 활성탄에 흡착된 유기성 오염물질을 영 양분으로 하여 세균 개체수가 기하급수적으로 재 생되기 때문에 보다 효과적인 살균 능력을 필요로 한다. 최근 활성탄소에 흡착된 오염물질 중에서 여러 가지 세균 및 미생물들에 의해 활성탄의 2차 오염 을 유발시키는 것과 관련하여 이에 대한 항균처 리에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 인 간의 생활환경에서 자주 발생하는 곰팡이, 박테리 아, 바이러스 등의 미생물 감염을 막기 위한 연구 에 있어서 은(Ag) 또는 은이온(Ag+ )의 강력한 항 균특성은 오래전부터 알려져 있었다.

(4-7) 은 또는 은이온의 항균 메커니즘에 대한 기존 연구에 의하면, 여러 가지 미생물 표면에 존재하는 티올기(thiol group), 아미노기(amino group), 그 리고 카복실레이트기(carboxylate group) 등의 작 용기는 은 또는 은이온과 잘 결합하게 된다. 이들 작용기에 은이나 은이온이 결합함으로써 박테리 아나 미생물들의 호흡과정이나 전자전달과정을 방 해하여 이러한 미생물들은 호흡기 및 대사 장해 로 인하여 사멸되는 것으로 보고되고 있다.

(8-10) 최근 은의 항균성능을 활성탄과 결합하여 그 효 과를 배가시키고자 활성탄의 표면에 은을 나노 형태로 첨착하여 오염된 물을 정화하는 제균실험 이 수행되었으며, 활성탄의 제균성능보다 은이 첨 착된 은나노-활성탄 소재의 제균성능이 더욱 뛰어 나다는 것을 밝혀낸 바 있다.

(11) 하지만 실제 공조기와 같은 공기를 정화하는 성능에 관한 연구는 수행되지 않았으며, 공조기의 필터에 적용하여 은 나노의 첨가로 인한 제균성능의 향상에 대한 규 명이 요구된다. 본 연구에서는 공기의 접촉 면적을 최대화 한 칼럼실험을 통해 활성탄과 은나노-활성탄의 제균 성능을 확인하는 실험을 수행하였으며, 공조기의 열교환기 표면에서 증식되는 세균이 필터의 장착 으로 인해 제거되는 제균성능 실험이 수행되었다. 본 연구에서 사용한 은나노 소재는 스퍼터링 진공 증착 공법을 통해 활성탄에 첨착시켰으며,(12) Fig. 1에 나타낸 TEM 이미지와 같이 그 크기는 50 nm 를 넘지 않는다.

자료 :

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무전해 은도금된 활성탄소섬유의 바이오에어로졸 저감 특성

2018-01-28T10:08:53+09:00

서론 :

바이오에어로졸이란 공기 중에 부유하여 존재 하는 바이러스 박테리아 곰팡이 등의 입자상 물 , , 질을 의미한다 이들의 일부는 사람에게 노출되 . 었을 경우 면역반응 독성반응 또는 감염반응 등 , 을 통해 인체에 유해한 영향을 미치기도 한다. 바이오에어로졸은 공조 시스템 내부의 필터에 여 과되어 적절한 온 습도 조건에서 번식하여 그 수 · 가 증가하며 이는 미생물에 의해 발생되는 휘발 , 성유기화합물 (MVOCs; Microbial Volatile Organic Compounds)의 주요 발생원이 되기도 한다(1). 따라서 공조 시스템 내부에 적용 가능한 미생물 번 , 식을 억제할 수 있는 항균성 필터 여재의 개발이 필요하다 는 유리섬유필터에 화학적 항 . Verdenelli 균물질을 코팅하여 다양한 사용 조건에서 미생물 에 대한 항균 성능을 평가하였다(2). 본 연구에서는 무전해 도금법을 이용하여 활성 탄소섬유 필터에 은 (ACF; Activated Carbon Fiber) 입자를 코팅하여 항균 필터를 만들고 그 특성을 , 평가하였다 은 은 전통적으로 항균 특성을 보 . (Ag) 이는 물질로 널리 알려져 있으며 는 나노 , Sondi 크기의 은 입자를 제조하여 그 항균 성능을 확인 하였다(3). 무전해도금법이란 활성탄 등의 부도체 성 담체에 금속성 물질을 균일하게 코팅하기 위 해 주로 사용되는 도금법으로 은 활성탄에 Park 구리를 무전해도금하여 질소산화물 의 제거에 (NO) 활용하였다(4). 무전해 은도금된 필터를 사용하여 바이오 ACF 에어로졸의 물리적 여과 특성과 생물학적 항균 특성을 평가하는 것을 본 연구의 목표로 한다.

연세대학교 기계공학과

자료 :

http://cafe.naver.com/adhesive/109722