챔버내 차압 밸런스 질문

by 아템 posted May 20, 2018
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챔버는 5존인데요 전부다 음압이 걸려있는 상태입니다.

딱히 제품을 뽑는데 문제는 없지만 궁금증이 생겨

질문드립니다.

1. 챔버내에 음압을걸어야 하나요 양압을 걸어야 하나요

2. 현재 올 음압 세팅으로 인해 챔버내에서 필름 떨림등의 현상으로 잔TD가 발생할수 있나요?

(불량은 아니지만 작업자 눈에 신경쓰이는 TD가 발생)

 

이상 두가지 질문에 고수님들의 많은 답변 부탁드립니다.

감사합니다.

 

 

 

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