플라즈마(Plasma)란?

 

플라즈마라는 말을 물리학 용어로 처음 사용한 사람은 미국의 물리학자 'Langmuir'(랑뮈어)로서 전기적인 방전으로

인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단을 플라즈마라고 한다.

어떤 물질에 열을 가하면 고체-액체-기체로 상전이를 일으켜 물질의 상태가 변화 한다는 것은 잘 알려져 있다.

이들 기본적인 세 가지 물질상태를 물질의 3태라한다.

가열되는 온도를 더욱 증가시켜 수천도 이상이 되면 물질은 어떻게 될까?

물질은 기체 상태를 지나 그 속의 기체 분자들끼리 격렬하게 충돌하여 이온화가 일어나서 다수의 양이온과 전자가

발생하고 움직여 다니는 상태에 이르게 된다.

 촛불의 불꽃 속의 일부라던가 로켓추진 불꽃, 번개, 형광등, 네온사인, 태양에서는 이와 같은 플라즈만 물질상태가

유지되 고 있다.

기체분자나 원자가 이온화 될 때 양이온과 전자는 쌍으로 발생하므로 플라즈마 안의 양이온의 수와 전자의 수는

거의 같아서 전체적으로 전기적인 준 중성(quasi-neutral)상태를 유지한다고 할 수 있다.

플라즈마는 이온과 전자의 밀도가 거의 같게 이온화된 상태 의 기체라고 정의 할 수 있다.

 

용도 :

플라즈마 식각 및 증착 (Plasma Etch) (PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 금속이나 고분자의 표면처리 신물질의 합성