CVD에 관해 질문있어서요.

안녕하세요 ^^ 플랙서블 OTFT에 연구 중에 있는 대학원생입니다.

 

유리기판 위에 Au나 Ag로 라인을 프린팅한 후,

1H,1H,2H,2H-Perfluorodecanethiol (PFDT : CF₃(CF₂)₇CH₂CH₂SH)으로 Au 위에 코팅을 해준 후 SAM을 이용하여 nm급 갭을 만들려고 합니다. (채널로 활용하기 위해)

저희 연구실에서는 PECVD 장비만 사용해서, PFDT를 이용하여 코팅이 불가능한 상황입니다.

기계과 출신이라 지식도 아직 많이 부족하구요...

 

PFDT에 관해 알아보니 알드리치 사에서는 liquid로 판매하고, 타 회사에서는 solid로 판매중입니다.

논문에서는 Solid를 사용하여 vapor-phase로 SAM을 만들어 주었다는데 거기에 관한 실험 방법은 도저히 찾아볼 수 없더라구요.

 

지금까지 생각해온바로는 열 CVD를 사용하거나 스핀코팅을 해주어 SAM처리를 해주어야 할거 같은데...

폴리머는 열 CVD로 사용이 불가능 하다는 분들도 계시고...

혹시나 이와 관련된 지식을 아시는 분 계시나요?

 

 

 

 

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